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影響三坐標(biāo)測量機(jī)精度的因素除三坐標(biāo)測量機(jī)本身因故障造成測量精度誤差以外，還有很多可能影響三坐標(biāo)測量機(jī)精度的因素，造成三坐標(biāo)測量誤差。三坐標(biāo)操作人員要了解這些因素，避免影響零件測量的準(zhǔn)確。
1·三坐標(biāo)測量機(jī)機(jī)房溫度的穩(wěn)定正如前所述，溫度是影響三坐標(biāo)測量機(jī)精度的因素。三坐標(biāo)測量機(jī)每年進(jìn)行一次的精度校正，并不能在溫度變化的情況下三次元測量機(jī)都能測量準(zhǔn)確。尤其是當(dāng)季節(jié)變化時，機(jī)房的溫度已與校驗時不同。有必要在機(jī)房溫度穩(wěn)定的情況下，對因三次元光柵溫度和量塊溫度不同而造成的誤差用溫度修正系數(shù)來進(jìn)行修正。這種修正可以根據(jù)季節(jié)或環(huán)境溫度情況來進(jìn)行。
2 . 三坐標(biāo)測量機(jī)補(bǔ)償文件的正確性三坐標(biāo)測量機(jī)補(bǔ)償文件是使用雙頻激光干涉儀檢測測量機(jī)位置度、直線度和角度誤差后生成的補(bǔ)償文件。測量軟件是根據(jù)它來進(jìn)行誤差補(bǔ)償?shù)?。往往有些操作員在安裝測量機(jī)軟件時忘記安裝補(bǔ)償文件或?qū)浞菸募G失而造成三坐標(biāo)測量機(jī)精度差和重新校驗機(jī)器精度。所以操作員要保管好備份文件并且知道如何安裝補(bǔ)償文件。
3 . 三坐標(biāo)測量機(jī)測頭校正的正確性，準(zhǔn)確性三坐標(biāo)測量機(jī)測頭校正是要校正出測桿（測尖）的紅寶石球的直徑，進(jìn)行測量點測頭修正，并得出不同測頭位置的位置關(guān)系。在測頭校正時產(chǎn)生的誤差將全部加入到測量中去。所以在這個環(huán)節(jié)中要正確和準(zhǔn)確。要注意以下幾點：1）保持三坐標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)球和測桿的清潔。2）保證三坐標(biāo)測座、測頭、測桿、標(biāo)準(zhǔn)球固定牢靠。3）輸入正確的測桿長度和標(biāo)準(zhǔn)球直徑。4）根據(jù)形狀誤差和校正出的寶石球直徑及重復(fù)性判斷校正的準(zhǔn)確性（加長桿長度不同校正后的寶石球直徑會不同）。5）要使用不同測頭位置時，在校正完所有測頭位置后，要通過測量球球心點坐標(biāo)的方法檢查校驗精度。測頭校驗后保存的測頭文件，在測頭、測桿沒有動的前提下可以調(diào)出使用。但測量精度比較高的情況下，建議重新校正測頭。
4 · 三坐標(biāo)測量機(jī)的工作狀態(tài)三坐標(biāo)測量機(jī)在長時間使用后，尤其是在環(huán)境比較差，溫度波動情況比較大的情況下，機(jī)械部分會有所變化如：垂直度變差，橫梁長度長的測量機(jī)附助腿端的測量精度差等問題。此時就要進(jìn)行測量機(jī)大修和精度校驗。
5 · 三坐標(biāo)被測零件的形狀誤差及基準(zhǔn)的正確選擇因為測量機(jī)測量的原理是先采點，然后軟件對所采點進(jìn)行擬和計算誤差。所以測量機(jī)測量時對零件的形狀誤差有一定的要求。當(dāng)被測零件有明顯的毛刺或沙眼時測量的重復(fù)性就明顯變差，以至于操作員給不出準(zhǔn)確的測量結(jié)果。在這種情況下一方面要求對被測零件的形狀誤差進(jìn)行控制，另外也可以適當(dāng)增大測桿寶石球的直徑，但測量誤差顯然要大一些。測量時要采取的測量方法以及選擇測量基準(zhǔn)是測量的重要環(huán)節(jié)之一。如：測圓和測線時要選擇投影平面或工作平面，建立零件坐標(biāo)系時正確選擇一基準(zhǔn)和二基準(zhǔn)，計算同軸度時如何選擇基準(zhǔn)軸線等等。這需要掌握測量機(jī)的測量原理和根據(jù)實際情況來采取方法步驟。
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