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INFICON Transpector HPR氣體分析系統(tǒng)
一致的靈敏度*優(yōu)污染控制
該INFICON Transpector HPR結(jié)合了Transpector RGA的高性能與校準(zhǔn)參考，以執(zhí)行工具診斷和監(jiān)測(cè)的自動(dòng)化工具。 結(jié)合INFICON的強(qiáng)大功能FabGuard傳感器集成與分析系統(tǒng) ，Transpector HPR具有自INFICON監(jiān)控，以及監(jiān)控的差異和缺陷的過程中工具的能力

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